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潔凈室知識
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無塵潔凈室FFU層流罩使用壽命
FFU在使用壽命及維護上已經實踐證明無可擔心。當前其改進主要是:
(1)采取均流及減少噪音的措施,噪音可在50db以內;
(2)電動機采用DC/EC(電子整流電機),以耗較原交流電機節約近50%,因為小風機所用小容量(功率<1/2HP)的交流電機,一般皆為電容分相式或隱極式,其效率僅40%左右,而DC/EC電機的效率可達75~80%;在調速控制上可每臺單獨的以過濾器降壓進行控制以節約能耗,但目前投資回收期尚長而未廣泛采用,一般常用分組群控或全部群控。
(3)但FFU出口靜壓不能過大,一般采用出口風速成0.38m/s,此時其靜壓一般在250Pa以內。
一. FFU回風系統與其他方式相比的優點
一般評價
優點:
(1)靈活性大,便于改造;
(2)占用建筑物空間較少;
(3)潔凈室內空氣壓力大于回風靜壓室,排除靜壓室對潔凈室污染的可能性。缺點:
(1)要求回風道全部阻力(包括多孔地板、格柵及風道)、干表冷器阻力及末級過濾器的阻力(在初阻力時),總共應控制在165Pa左右,以滿足運行時最大阻力在250Pa以內。因此干表冷器的傳熱面積要較大,回風道尺寸亦要較大,多孔地板及格柵等的阻力要小,一般作法是:控制干表冷器阻力在50Pa左右,回風道阻力在15Pa以內,否則就需要再增設加壓風機系統,這就是降低了FFU系統的綜合優點。
(2)采用DC/EC電機后,單位風量的能耗可能比當前一般大型離心風機的集中系統為低,但已有研究指出,比采用改進后的大型軸流風機的回風系統的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風機的效率提高及其系統的阻力降低的因素。
(3)一般FFU系統由于單位風量的能耗較大,因此潔凈室的冷負荷亦相應增加。
具體情況下的評價:
(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時,其綜合經濟性一般往往可取。
(2)潔凈度要求嚴的潔凈室,末級過濾器滿布率100%時,對大的系統采用FFU,當前還是不經濟的;對小系統有意義作具體比較。
(3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室,末級過濾器滿布率≤40%時對大系統綜合經濟性往往相差不多,但對IC工廠而言FFU系統的靈活性是重要的,因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時,采用FFU系統已經普遍。